Μετάβαση στο κύριο περιεχόμενο
+41 52 511 3200 (SUI)     + 1 713 364 5427 (ΗΠΑ)     
Έλεγχος ποιότητας ιλύος CMP ημιαγωγών (χημική μηχανική στίλβωση) μέσω της μονάδας πυκνότητας και ιξώδουςoring
  • Η βέλτιστη απόδοση της διαδικασίας μπορεί να διασφαλιστεί με monitoring πολτός υγείας συνεχώς. Βοηθά στην προσαρμογή αυστηρότερων απαιτήσεων καθαρότητας και ακρίβειας ανάμειξης των ιλύων επόμενης γενιάς.

  • Οι νεότερες ιλύες δεν είναι καλά καθορισμένες και απαιτούν λεπτομερή ρύθμιση για συγκεκριμένες διαδικασίες, κάτι που καθίσταται δυνατή με προηγμένα δεδομένα αισθητήρων. Η συνοχή της διαδικασίας γκοφρέτας βελτιώνεται σημαντικά με πληροφορίες σε πραγματικό χρόνο και αυτοματοποίηση.

  • Η συνεχής βελτιστοποίηση ιξώδους/πυκνότητας συμβάλλει στη μείωση του κόστους ιδιοκτησίας της διαδικασίας CMP και των αναλώσιμων

  • Αποτρέψτε προβλήματα με τις δυνατότητες συναγερμού

Εισαγωγή Εφαρμογής

Η χημικο-μηχανική στίλβωση (CMP) των επιφανειών συχνά σχετίζεται με τη χημικο-μηχανική επιπέδωση, η οποία είναι μια διαδικασία αφαίρεσης επιφανειακών υλικών με χημική αντίδραση. Η CMP είναι μια τυπική διαδικασία κατασκευής στη βιομηχανία ημιαγωγών για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και δίσκων μνήμης.

 

Επισκόπηση διαδικασιών του χημικού μηχανικού επιπέδου σχεδιασμού στη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών | Πηγή: Azom https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=12527

 

Ένας πολτός που περιέχει κυρίως καθαρό νερό, ένα χημικό αντιδραστήριο και διαφορετικά σωματίδια στίλβωσης χρησιμοποιείται μεταξύ του μαξιλαριού γυαλίσματος και της γκοφρέτας.

Γιατί απαιτείται έλεγχος διεργασίας πολτού στο CMP;

Η βιομηχανία ημιαγωγών αφορά την κλίμακα και τη διατήρηση αυστηρού ποιοτικού ελέγχου καθ 'όλη τη διαδικασία. Σε διαδικασίες πολλαπλών μάσκων, οι πολτοί CMP ορίζουν την υφή της επιφάνειας στην οποία εναποτίθενται τα επόμενα στρώματα. Τα ηλεκτρονικά εξαρτήματα με μικρότερες διαστάσεις απαιτούν πιο εξελιγμένες διαδικασίες CMP. Ο στόχος του πελάτη είναι να έχει επίπεδες, λείες, γυαλισμένες γκοφρέτες.

Χημικοί και φυσικοί μηχανισμοί διηλεκτρικής χημικής μηχανικής στίλβωσης (CMP), Στο βιβλίο: Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP), Y. Moon, Δεκέμβριος 2016 | DOI: 10.1016/B978-0-08-100165-3.00001-2

Σχηματικό διάγραμμα διαδικασίας CMP | Πηγή: Χημικοί και φυσικοί μηχανισμοί διηλεκτρικής χημικής μηχανικής στίλβωσης (CMP), Στο βιβλίο: Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP), Y. Moon, Δεκέμβριος 2016 | DOI: 10.1016/B978-0-08-100165-3.00001-2

 

Με τα ελάχιστα μεγέθη χαρακτηριστικών να πέφτουν κάτω από τα 10 nm, οι προδιαγραφές ελαττωμάτων σε επίπεδο γκοφρέτας έχουν γίνει πιο αυστηρές. Ως αποτέλεσμα, οι διαδικασίες CMP έχουν γίνει πιο περίπλοκες και τα πρότυπα ποιότητας πολτού έχουν γίνει πιο αυστηρά. Ενώ ο πολτός μπορεί να ελέγχεται αυστηρά στο σημείο παραγωγής (POM), οι επόμενες εργασίες όπως η μεταφορά, ο χειρισμός, η ανάμειξη, η διήθηση και η διανομή στο τακάκι μπορούν να αλλάξουν τις χημικές του ιδιότητες (π.χ., να επηρεάσουν τους οξειδωτικούς παράγοντες ή τα πρόσθετα). Η αλλαγή αυτών των παραμέτρων μπορεί να επηρεάσει την απόδοση της διαδικασίας και να συμβάλει σε ελαττώματα σε επίπεδο γκοφρέτας, επηρεάζοντας έτσι την παραγωγικότητα της μονάδας. Για να αποφευχθούν τέτοιες ανεπιθύμητες ενέργειες, οι χημικές ιδιότητες του πολτού πρέπει να παρακολουθούνται συνεχώς στο σημείο χρήσης.

Σημασία του ιξώδους και της πυκνότητας του πολτού CMP στις εργασίες λείανσης

Οι πληροφορίες ιξώδους και πυκνότητας πολτού παρέχουν βασικές πληροφορίες για την αξιολόγηση της διασπορά των σωματιδίων σε πολτούς CMP λόγω της σχέσης που υπάρχει μεταξύ ιξώδες και μέγεθος σωματιδίωνΤο Παρέχει σημαντικές πληροφορίες για να βοηθήσει τους διαμορφωτές να προσαρμοστούν στις ατομικές τους απαιτήσεις.

Η συνοχή του πολτού εξαρτάται τόσο από χημικά όσο και από μηχανικά συστατικά. Αυτός ο πολτός πρέπει να έχει στενές, ομοιόμορφες κατανομές μεγέθους σωματιδίων και στερεά ομοιόμορφης πυκνότητας. Η αλλαγή της πυκνότητας υποδηλώνει μια ανομοιόμορφη ιλύ, η οποία μεταβάλλει την αφαίρεση του γυαλίσματος. Οι συσσωματώσεις και τα μεγάλα σωματίδια μπορούν να αφαιρεθούν με φίλτρα στο μπλέντερ, αλλά οι διακυμάνσεις της πυκνότητας είναι πιο ύπουλες. Είναι πιθανό τα σωματίδια του πολτού να πληρούν τις προδιαγραφές και να περνούν από τα φίλτρα. Ο πολτός συνήθως αποστέλλεται συμπυκνωμένος, και στη συνέχεια αραιώνεται με νερό ή υπεροξείδιο του υδρογόνου στο εργοστάσιο. Ένας πολτός ή ένα τύμπανο μπορεί να έχει μεγαλύτερη πυκνότητα στο κάτω μέρος λόγω ανεπαρκούς ανάμειξης. Αρχικά, η ποιότητα του εισερχόμενου υλικού στο εργαλείο CMP εξαρτάται από τις πρακτικές fab σε συνδυασμό με την επιτόπια ανάμειξη και αποθήκευση. Monitoring Η πυκνότητα του πολτού διασφαλίζει ότι παρέχεται το σωστό μείγμα στα εργαλεία διεργασίας.

Για χρήματαoring εισερχόμενος πολτός, η πυκνομετρία έχει γίνει η κοινή μέθοδος. Οι διακυμάνσεις στην πυκνότητα υποδεικνύουν έναν μη ομοιόμορφο πολτό (δηλαδή, μια υψηλότερη συγκέντρωση μεγάλων σωματιδίων είναι δυνατή ανά πάσα στιγμή), η οποία μπορεί να επηρεάσει τον ρυθμό απομάκρυνσης και να οδηγήσει σε ελαττώματα.

  • Πυκνότητα – Δείκτης συστατικών πολτού και ιδιοτήτων ανάμειξης και αποτελεσματικός δείκτης για την παρακολούθηση της ανάμειξηςoring και ελέγχου
  • Ιξώδες - Δείκτης συνέπειας του μείγματος

Περιορισμοί άλλων παραμέτρων:

  • Το pH - οι πολτοί είναι χημικά ρυθμισμένοι, ασήμαντη διακύμανση με αλλαγές στην αναλογία μίγματος
  • ORP (Δυναμικό οξείδωσης-μείωσης)-δεν αλλάζει με την αναλογία μίγματος στα περισσότερα μίγματα πολτού CMP
  • Αγωγιμότητα ή TDS - συνήθως έχει καλή ευαισθησία σε αναλογία ανάμειξης, συχνά δεν μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως ανεξάρτητη παράμετρος ελέγχου, οι τιμές αγωγιμότητας ποικίλλουν σε διαφορετικές παρτίδες του ίδιου πολτού, μπορεί επίσης να ποικίλλουν με τη γήρανση της ίδιας παρτίδας πολτού κατά τη διάρκεια της συνιστώμενης διάρκειας ζωής αποθήκευσης

Rheonicsλύσεις για τον ποιοτικό έλεγχο και τη διασφάλιση της ιλύος CMP ημιαγωγών

Η αυτοματοποιημένη εν σειρά μέτρηση και έλεγχος ιξώδους είναι ζωτικής σημασίας για τον έλεγχο του ιξώδους κατά τη διαδικασία κατασκευής και για τη διασφάλιση της πλήρους συμμόρφωσης των κρίσιμων χαρακτηριστικών με τις απαιτήσεις σε πολλές παρτίδες, χωρίς να χρειάζεται να βασίζεστε σε μεθόδους μέτρησης εκτός σύνδεσης και τεχνικές λήψης δειγμάτων. Rheonics προσφέρει τις ακόλουθες λύσεις για τον έλεγχο και τη βελτιστοποίηση της διαδικασίας,

Μετρητές ιξώδους & πυκνότητας

  1. Στη γραμμή Ιξώδες Μετρήσεις: Rheonics» SRV είναι μια συσκευή μέτρησης ιξώδους ευρείας γκάμας σε σειρά, ικανή να ανιχνεύει αλλαγές ιξώδους σε οποιαδήποτε ροή διεργασιών σε πραγματικό χρόνο.
  2. Στη γραμμή Ιξώδες και πυκνότητα Μετρήσεις: Rheonics» SRD είναι ένα όργανο μέτρησης ταυτόχρονης πυκνότητας και ιξώδους. Εάν η μέτρηση πυκνότητας είναι σημαντική για τις λειτουργίες σας, το SRD είναι ο καλύτερος αισθητήρας για την κάλυψη των αναγκών σας, με δυνατότητες λειτουργίας παρόμοιες με το SRV μαζί με ακριβείς μετρήσεις πυκνότητας.

Ενσωματωμένο, κλειδί στο χέρι ποιότητα διαχείριση

Rheonics προσφέρει μια ολοκληρωμένη λύση με το κλειδί στο χέρι για διαχείριση ποιότητας από:

  1. Στη γραμμή Ιξώδες Μετρήσεις: RheonicsSRV - μια ευρεία γκάμα, συσκευή μέτρησης ιξώδους εν σειρά με ενσωματωμένη μέτρηση θερμοκρασίας υγρού
  2. Rheonics Παρακολούθηση διαδικασίας: προχωρημένος προγνωστικός ελεγκτής παρακολούθησης για παρακολούθηση και έλεγχο σε πραγματικό χρόνο παραλλαγές των συνθηκών της διαδικασίας
  3. Rheonics RheoPulse με αυτόματο dόγκος: Αυτόνομο σύστημα επιπέδου 4 που δεν εξασφαλίζει συμβιβασμούς με καθορισμένα όρια ιξώδους και ενεργοποιεί αυτόματα βαλβίδες παράκαμψης ή αντλίες σε προσαρμοστικά δοσολογικά συστατικά

Ο αισθητήρας SRV βρίσκεται σε σειρά, ώστε να μετρά συνεχώς το ιξώδες (και την πυκνότητα σε περίπτωση SRD). Οι ειδοποιήσεις μπορούν να ρυθμιστούν ώστε να ειδοποιούν τον χειριστή για την απαραίτητη ενέργεια ή ολόκληρη η διαδικασία διαχείρισης μπορεί να αυτοματοποιηθεί πλήρως RPTC (Rheonics Ελεγκτής Predictive Tracking). Η χρήση ενός SRV σε μια γραμμή παραγωγικής διαδικασίας, οδηγεί σε βελτιωμένη παραγωγικότητα, περιθώρια κέρδους και επιτυγχάνει συμμόρφωση με τους κανονισμούς. Rheonics Οι αισθητήρες έχουν συμπαγή μορφή για απλή εγκατάσταση OEM και εκ των υστέρων. Απαιτούν μηδενική συντήρηση ή επαναδιαμορφώσεις. Οι αισθητήρες προσφέρουν ακριβή, επαναλαμβανόμενα αποτελέσματα ανεξάρτητα από το πώς ή πού τοποθετούνται, χωρίς καμία ανάγκη για ειδικούς θαλάμους, ελαστικά στεγανοποιητικά ή μηχανική προστασία. Χωρίς χρήση αναλώσιμων και χωρίς επαναβαθμονόμηση, το SRV και το SRD είναι εξαιρετικά εύκολο στη χρήση με αποτέλεσμα εξαιρετικά χαμηλό κόστος λειτουργίας διάρκειας ζωής.

Μόλις δημιουργηθεί το περιβάλλον της διαδικασίας, απαιτείται συνήθως λίγη προσπάθεια για τη διατήρηση της συνέπειας ακεραιότητας των συστημάτων – οι χειριστές μπορούν να βασίζονται στον αυστηρό έλεγχο με Rheonics λύση διαχείρισης ποιότητας παραγωγής.

Εξαιρετικό σχεδιασμό και τεχνολογία αισθητήρων

Τα εξελιγμένα, κατοχυρωμένα με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας ηλεκτρονικά είναι ο εγκέφαλος αυτών των αισθητήρων. Τα SRV και SRD είναι διαθέσιμα με βιομηχανικές συνδέσεις διεργασιών όπως ¾” NPT, DIN 11851, Flange και Tri-clamp επιτρέποντας στους χειριστές να αντικαταστήσουν έναν υπάρχοντα αισθητήρα θερμοκρασίας στη γραμμή διεργασίας τους με SRV/SRD παρέχοντας εξαιρετικά πολύτιμες και εύχρηστες πληροφορίες για το υγρό διεργασίας, όπως το ιξώδες, εκτός από την ακριβή μέτρηση της θερμοκρασίας με χρήση Pt1000 (διατίθεται DIN EN 60751 Class AA, A, B) .

Ηλεκτρονικά κατασκευασμένα για να ταιριάζουν στις ανάγκες σας

Διαθέσιμο τόσο στο περίβλημα του πομπού όσο και στη βάση ράγας DIN μικρής μορφής, το ηλεκτρονικό αισθητήρα επιτρέπει την εύκολη ενσωμάτωση σε γραμμές διεργασίας και σε εσωτερικούς χώρους εξοπλισμού μηχανών.

ΜΜΕ-DRM
SME_TRD
Εξερευνήστε τις επιλογές ηλεκτρονικών και επικοινωνίας

Εύκολη ενσωμάτωση

Πολλαπλές μέθοδοι αναλογικής και ψηφιακής επικοινωνίας που εφαρμόζονται στα ηλεκτρονικά αισθητήρα καθιστούν τη σύνδεση με βιομηχανικά PLC και συστήματα ελέγχου απλή και απλή.

Επιλογές αναλογικής και ψηφιακής επικοινωνίας

Επιλογές αναλογικής και ψηφιακής επικοινωνίας

Προαιρετικές επιλογές ψηφιακής επικοινωνίας

Προαιρετικές επιλογές ψηφιακής επικοινωνίας

Συμμόρφωση ATEX & IECEx

Rheonics προσφέρει εγγενώς ασφαλείς αισθητήρες πιστοποιημένους από ATEX και IECEx για χρήση σε επικίνδυνα περιβάλλοντα. Αυτοί οι αισθητήρες συμμορφώνονται με τις βασικές απαιτήσεις υγείας και ασφάλειας που σχετίζονται με το σχεδιασμό και την κατασκευή εξοπλισμού και συστημάτων προστασίας που προορίζονται για χρήση σε δυνητικά εκρηκτικές ατμόσφαιρες.

Οι εγγενώς ασφαλείς και αντιεκρηκτικές πιστοποιήσεις που κατέχονται από Rheonics επιτρέπει επίσης την προσαρμογή ενός υπάρχοντος αισθητήρα, επιτρέποντας στους πελάτες μας να αποφύγουν το χρόνο και το κόστος που σχετίζεται με τον εντοπισμό και τη δοκιμή μιας εναλλακτικής λύσης. Μπορούν να παρέχονται προσαρμοσμένοι αισθητήρες για εφαρμογές που απαιτούν μία μονάδα έως και χιλιάδες μονάδες. με χρόνους παράδοσης εβδομάδων έναντι μηνών.

Rheonics SRV & SRD είναι αμφότερα πιστοποιημένα με ATEX και IECEx.

ATEX (2014/34 / ΕΕ) Πιστοποίηση

RheonicsΟι αισθητήρες Intrinsically Safe με πιστοποίηση ATEX συμμορφώνονται με την Οδηγία ATEX 2014/34/EU και είναι πιστοποιημένοι για εσωτερική ασφάλεια έως Ex ia. Η οδηγία ATEX καθορίζει ελάχιστες και βασικές απαιτήσεις σχετικά με την υγεία και την ασφάλεια για την προστασία των εργαζομένων που εργάζονται σε επικίνδυνες ατμόσφαιρες.

RheonicsΟι αισθητήρες με πιστοποίηση ATEX είναι αναγνωρισμένοι για χρήση στην Ευρώπη και διεθνώς. Όλα τα εξαρτήματα με πιστοποίηση ATEX φέρουν τη σήμανση «CE» για ένδειξη συμμόρφωσης.

Πιστοποιημένο με IECEx

RheonicsΟι εγγενώς ασφαλείς αισθητήρες είναι πιστοποιημένοι από την IECEx, τη Διεθνή Ηλεκτροτεχνική Επιτροπή για πιστοποίηση σε πρότυπα που σχετίζονται με εξοπλισμό για χρήση σε εκρηκτικές ατμόσφαιρες.

Αυτή είναι μια διεθνής πιστοποίηση που διασφαλίζει τη συμμόρφωση με την ασφάλεια για χρήση σε επικίνδυνες περιοχές. Rheonics Οι αισθητήρες είναι πιστοποιημένοι για εσωτερική ασφάλεια έως Ex i.

Εκτέλεση

Εγκαταστήστε απευθείας τον αισθητήρα στη ροή της διαδικασίας σας για να κάνετε μετρήσεις ιξώδους και πυκνότητας σε πραγματικό χρόνο. Δεν απαιτείται παράκαμψη γραμμής: ο αισθητήρας μπορεί να βυθιστεί εν σειρά. ο ρυθμός ροής και οι δονήσεις δεν επηρεάζουν τη σταθερότητα και την ακρίβεια της μέτρησης. Βελτιστοποιήστε την απόδοση ανάμειξης παρέχοντας επαναλαμβανόμενες, διαδοχικές και συνεπείς δοκιμές στο υγρό.

Ενσωματωμένες τοποθεσίες ποιοτικού ελέγχου

  • Σε δεξαμενές
  • Στους σωλήνες σύνδεσης μεταξύ διαφόρων δοχείων επεξεργασίας

Όργανα / Αισθητήρες

SRV Ιξωδόμετρο Ή ένα SRD για επιπλέον πυκνότητα

Rheonics Επιλογή οργάνου

Rheonics σχεδιάζει, κατασκευάζει και εμπορεύεται καινοτόμες ανίχνευση και παρακολούθηση υγρώνoring συστήματα. Ακρίβεια που κατασκευάστηκε στην Ελβετία, RheonicsΤα in-line ιξωδόμετρα και οι μετρητές πυκνότητας έχουν την ευαισθησία που απαιτεί η εφαρμογή και την αξιοπιστία που απαιτείται για να επιβιώσουν σε ένα σκληρό περιβάλλον λειτουργίας. Σταθερά αποτελέσματα – ακόμη και κάτω από αντίξοες συνθήκες ροής. Καμία επίδραση της πτώσης πίεσης ή του ρυθμού ροής. Είναι εξίσου κατάλληλο για μετρήσεις ποιοτικού ελέγχου στο εργαστήριο. Δεν χρειάζεται να αλλάξετε κανένα στοιχείο ή παράμετρο για μέτρηση σε όλο το εύρος.

Προτεινόμενα προϊόντα για την εφαρμογή

  • Ευρύ φάσμα ιξώδους - παρακολουθήστε την πλήρη διαδικασία
  • Επαναληπτικές μετρήσεις τόσο σε υγρά Newtonian όσο και σε μη Νευτώνια, σε μονοφασικά και πολυφασικά υγρά
  • Ερματικά σφραγισμένα, όλα υγρά από ανοξείδωτο χάλυβα 316L
  • Ενσωματωμένη μέτρηση θερμοκρασίας ρευστού
  • Συμπαγής μορφή-παράγοντας για απλή εγκατάσταση σε υπάρχουσες γραμμές επεξεργασίας
  • Εύκολο στον καθαρισμό, χωρίς συντήρηση ή επαναπροσαρμογές
  • Ενιαίο όργανο για τη μέτρηση της πυκνότητας, του ιξώδους και της θερμοκρασίας
  • Επαναλαμβανόμενες μετρήσεις τόσο σε νεογνά όσο και σε μη νεογνά υγρά, σε μονοφασικά και πολυφασικά υγρά
  • Όλα τα μεταλλικά (316L ανοξείδωτο χάλυβα) κατασκευή
  • Ενσωματωμένη μέτρηση θερμοκρασίας ρευστού
  • Συμπαγής μορφή για απλή εγκατάσταση σε υπάρχουσες σωλήνες
  • Εύκολο στον καθαρισμό, χωρίς συντήρηση ή επαναπροσαρμογές
Αναζήτηση